본문 바로가기
KERD
논문KCI 등재

고온용 압저항센서용 크롬산화박막의 특성

Characteristics of chromium oxide thin-films for high temperature piezoresistive sensors

김광호|정귀상|서정환|노상수|이응안
한국센서학회|2005.03|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제14권 제2호|pp. 56-61

0

조회

0

다운로드

0

인용

0

참고문헌

주제분류공학일반

초록

Abstract

This paper present characteristics of chromium oxide thin-film as piezoresistive sensors, which were deposited on Si substrates by DC reactive magnetron sputtering in an argon-Oxide atmosphere for high temperature applications. The chemical composition, physical and electrical properties and thermal stability ranges of the CrOx sensing elements have studied. CrOx thin films with a linear gauge factor(GF≒15), high electrical resistivity(ρ=340μΩ㎝) and TCR〈-55ppm/℃ have been obtained. These CrOx thin films may allow high temperature pressure sensor miniaturization to be achieved.

참고문헌 (12)

  1. "Sputtered silicon thin film for piezoresistive pressure microsensors", 41, pp.521~688 (1994)
  2. "Characterization of tantalum oxynitride thin films as high-temperature strain gauges", 46-47, pp.218~221 (1995)
  3. "Pressure transducer with Au-Ni thin film strain gauges", 40, pp.521~524 (1993)
  4. "Thin film pressure transducer with manganese film as the strain gauge", 24, pp.35~39 (1990)
  5. "Ion-beam sputtered thin film strain gauge pressure transducers", 35, pp.265~268 (1993)
  6. "Behaviour of Bi-Sb alloy thin film as strain gauges", 137, pp.199~205 (1986)
  7. "Constantan thin film strain gauge load cell", pp.149~152 (1990)
  8. "CrOx thin film pressure sensor prepared directly on the stainless steel diaphragm", pp. 151-154, pp.1994~
  9. "Ceramic pressure sensor based on tantalum thin film", 41-42, pp.435~438 (1994)
  10. "Structural and electrical properties of cathodic sputtered thin chromium films", 107, pp.197~199 (1998)
  11. "Fabrication and characteristics of tantalum nitride thin film strain gauges", 13, pp.148~153 (2004)
  12. "N films prepared by reactive sputtering", 240, pp.238~241 (1991)

관련 논문AI추천

박막형 NTC 열형 센서의 제작 및 특성 평가유미나, 유재용, 이문호한국센서학회 · 센서학회지2006 · 제15권 제1호Cr2O3 후막의 암모니아 가스 감지 특성김정규, 마대영, 박기철, 조철형한국센서학회 · 센서학회지2004 · 제13권 제6호열처리조건에 따른 VO2 후막 급변온도센서의 특성연구송건화, 유광수한국센서학회 · 센서학회지2007 · 제16권 제6호고온용 실리콘 압력센서 개발김미목, 남태철, 이영태한국센서학회 · 센서학회지2004 · 제13권 제3호질화탄탈 박막형 스트레인 게이지의 제작과 특성김순철, 우형순, 정귀상, 홍대선한국센서학회 · 센서학회지2004 · 제13권 제4호초고온용 다결정 3C-SiC 마이크로 압력센서의 제작정귀상한국센서학회 · 센서학회지2010 · 제19권 제1호

이 간행물의 다른 논문 (20건)

화학적 성분 분석능력을 가진 원자 현미경의 제작이동원pp. 1-6하부요로계 페색 진단용 요류음 계측 시스템의 구현 및 평가조성택, 전계록, 정도운pp. 7-15자성유체의 자기적 거동특성을 이용한 광스위치에 관한 연구김도형, 오재근, 최범규, 송관민pp. 16-21실리콘 미세가공을 이용한 열전형 미소유량센서 제작 및 특성최용문, 임영언, 이광철, 김국진, 노성철, 박세일, 이영화, 나필선pp. 22-27용량형 지문인식센서를 위한 전하분할 방식 감지회로의 CMOS 구현이문기, 남진문pp. 28-32
원문 보기