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Cr2O3 후막의 암모니아 가스 감지 특성

Ammonia Gas-sensing Characteristics of Cr2O3 Thick Films

김정규|박기철|마대영|조철형
한국센서학회|2004.11|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제13권 제6호|pp. 424-429

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Abstract

Cr2O3 thick films were fabricated by screen printing method on alumina substrates and annealed at 700℃, 800℃ and 900℃ in air, respectively. Structural properties examined by XRD and SEM showed (116) dominant Cr2O3 peak and increased grain sizes with the annealing. The resistance of the films decreased with increasing the annealing temperature. Gas sensing characteristics to NH3, CO, C4H10 and NO gases showed sensitivity only to NH3 gas. Cr2O3 thick films annealed at 700℃ had the sensitivity of about 15% for 100 ppm NH3 gas at the working temperature of 300℃. The thick films had good selectivity to the NH3 gas. The response time to NH3 gas was about 10 seconds.

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