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다이아프램 구조를 이용한 탄소나노튜브 가스 센서의 가스 감응 특성

Gas sensing characteristics of carbon nanotube gas sensor using a diaphragm structure

박정호|김영조|주병권|문승일|조우성
한국센서학회|2006.01|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제15권 제1호|pp. 13-19

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Abstract

The micro-gas sensor based on carbon nanotubes (CNTs) was fabricated and its gas sensing characteristics on nitrogen dioxide (NO2) have been investigated. The sensor consists of a heater, an insulating layer, a pair of contact electrodes, and CNT-sensing film on a micromachined diaphragm. The heater plays a role in the temperature change to modify sensor operation. Gas sensor responses of CNT-film to NO2 at room temperature are reported. The sensor exhibits a reversible response with a time constant of a few minutes at thermal treatment temperature of 130oC.

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