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패턴이 형성된 탄소나노튜브 매트의 이산화질소 감응 특성
NO2 gas sensing characteristics of patterned carbon nanotube mats
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주제분류공학일반
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Abstract
Carbon nanotube (CNT) mats grown by thermal chemical vapor deposition on a micromachined substrate with a chrome heater and a diaphragm were investigated as sensing materials of resistive gas sensors for nitrogen dioxide (NO2) gas. The aligned CNT mats fabricated into mesh and serpentine shapes by the patterned cobalt catalyst layer. CNT mats showed a p-type electrical resistivity with decreasing electrical resistance upon exposure to NO2. All sensors exhibited a reversible response at a thermal treatment temperature of 130oC for about 5 minutes. The resistance change to NO2 of the mesh-shaped CNT mats was larger than that of the serpentine-shaped CNT mats.
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