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산화주석 기반의 아세토니트릴 검지용 박막형 가스센서
Thin Film Gas Sensors based on Tin Oxide for Acetonitrile
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주제분류공학일반
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Abstract
Thin film gas sensor based on tin oxide was fabricated and its characteristics were examined. Target gas is acetonitrile (CH3CN) that is simulant gas of blood agent gas. Sensing materials are SnO2, SnO2/Pt, and (Sn/Pt)oxidation with thickness from 1000Å to 3000Å. Sensor was consisted of sensing electrode with interdigit(IDT) type in front side and a heater in back side. Its dimension was 7×10×0.6㎣. Fabricated sensor was measured as flow type and monitored real time using PC. The optimal sensing material for CH3CN was {Sn(3000Å)/Pt(30Å)}oxidation and its sensitivity and operating temperature were 30%, 300℃ in CH3CN 3ppm.
참고문헌 (10)
- 이종철, "이종철＂화학탄 및 화학작용제 페기처리 기술(I)", 16, pp.205~216 (1999)
- 김상연, "박막형 SnO2 가스 센서의 특성에 관한 연구", 8(3), pp.278~ (1995)
- 신성호, "산화물 Target RF 마그네트론 ㅅ파터링에 의한 비손상 SnO2 박막의 제조", 9(5), pp.490~ (1996)
- 박효덕, "CH3CN 가스 감지소자의 제조 및 그 특성", pp.8~17 (1992)
- 박명규, "평판형 DBD 반응기에서의 CH3CN의 분해 모델링", pp.819~ (2003)
- Timothy C. Marrs, "Chemical warfare agents", pp.204~ (1996)
- "NIST Standard Reference Database Number 69" (2003)
- C. H. Shim etc, "Gas sensing characteristics of SnO2 thin film fabricated by thermal oxidation of a Sn", Pt double layer, 2002., pp.81, 176~181
- 곽두영, "LabVIEWTM 컴퓨터 기반의 제어와 계측 Solution" (2002), Ohm사
- VWXY, "세서의 활용", pp.78~80 (2001), 도서출판 세화
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