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후막형 에탄올 가스 감지소자의 제조 및 특성

Fabrication and ethanol gas sensing characteristics of the thick film ethanol gas sensors

최동한
한국센서학회|2007.11|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제16권 제6호|pp. 428-433

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Abstract

SnO2-based thick film ethanol gas sensors were fabricated on alumina substrates and their ethanol gas sensingcharacteristics were investigated. The film sintered at 40oC for 2 hrs. showed the highest sensitivity to ethanol gas andthe sensitivity of the film to 1000 ppm ethanol gas in air was 97 % at an operating temperature of 250oC. The additionof Fe2O3 to SnO2 enhanced the sensitivity by changing the type and number of surface acidic/basic sites.

참고문헌 (9)

  1. "Ethanolsensing characteristics of pure and Pt-activated CdIn2O4 films prepared by r.f. reactive sputtering", 67, pp.254~257 (2000)
  2. "“진공증착법으로 제조한 In2O3 나노벨트막의 NO가스감지특성”", 15(6), pp.406~410 (2006)
  3. "“고감도 에탄올 가스 센서”", 16(5), pp.355~360 (2007)
  4. "“Gas sensing through thick film technology”", 84, pp.72~77 (2002)
  5. "“Dynamic properties and sensitivity of semiconductor metal-oxide thickfilm sensors to various gases in air gaseous medium”", 96, pp.413~434 (2003)
  6. "“Influence of iron addition on ethanol and CO sensing properties of tin oxide prepared with the RGTO technique”", 115, pp.561~566 (2006)
  7. "Magnetron Sputtering법을 이용한 SnO2 박막 센서의 제조 및 알콜 감도 특성”", 14(2), pp.63~68 (2005)
  8. "Nanocomposites SnO2", Fe2O3 :Sensor and catalytic properties, 2006, pp.118, 208~214
  9. "“Relationship between ethanol gas sensitivity and surface catalytic property of tin oxide sensors modified with acidic or basic oxides”", 155, pp.193~200 (2000)

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