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이종접합 바이폴라 트랜지스터에 관한 대신호 SPICE 등가회로 모델의 정확한 변수추출 방법

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초록

최근에 통신용 RF핵심소자로서 각광받고 있는 HBT의 SPICE 대신호모델을 위한 정확한 변수추출이 수행되었다. 이방법은 기존에 사용되는 S-parameter optimization 과정없이 수행되었으며 측정된 S-파라미터를 사용하여 각 변수마다 독립적으로 추출되었다. 이러한 변수추출 전에 RF probe 패드 및 금속배선의 기생성분은 open 및 short의 두개의테스트 패턴을 사용하여 측정된 S-파라미터로부터 제거되었다. 접합 및 기생 캐패시턴스는 차단영역의 Y-파라미터를 이용하여 추출되었고, 내부와 외부 저항성분 및 천이시간 변수들은 활성영역에서 얻어진 Z-파라미터를 기초로 결정되었다. 이러한 RF추출방법은 기존의 dc나 C-V측정방법에서 생길수 있는 오차를 최소한으로 줄일 수 있다. 변수추출 후 모델된 S-파라미터가 측정된 값과 비교되었으며 비교적 좋은 일치를 보였다.

Abstract

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