본문 바로가기
KERD
논문KCI 등재

고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성

Surface morphology and electrical properties of ITO thin films fabricated by rf magnetron sputtering method

권성열
한국센서학회|2006.01|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제15권 제1호|pp. 71-75

1

조회

0

다운로드

0

인용

0

참고문헌

주제분류공학일반

초록

Abstract

ITO (Indium Tin Oxide) thin films have been fabricated by rf magnetron sputtering with a target of a mixture In2O3 (90wt%) and SnO2 (10wt%). ITO films were sputtered with substrate temperature from 30 to 300oC and working pressure from 1 to under 0.1 m Torr. ITO thin films surface morphology and electrical properties analyzed by SEM Photographs, and X-ray diffractions patterns. The resistivity of ITO thin films was 1.810-5 /cm.

참고문헌 (13)

  1. K. L. Chopra,S. Major,and D. K. Pandya, "Transparent conductors-a status review", 102, pp.1983~
  2. A. Rohatgi,T. R. Viverito,and L. H. Slack, "Electrical and optical properties of Tin oxide films", 56(6), pp.278~279 (1974)
  3. A. Rohatgi, "Materials for efficient reflection of thermal energy Reviews on High Temperature Materials", 3, pp.139~151 (1976)
  4. J. Szczyrbowski, "Optical and electrical properties of r.f. sputtered indium-Tin oxide films", 78, pp.243~252 (1983)
  5. M. Buchanan,J. B. Webb,and D. F. Williams, "The influence of target oxidation and growth related effects on the electrical properties of reactively sputtered films of Tin-doped indium oxide", 80, pp.1981~
  6. K. Sreenivas, "Preparation and characterization of r.f. sputtered indium Tin oxide films", 57(2), pp.384~392 (1985)
  7. O. Dutta, "Electrical properties of magnetron sputtered indium Tin oxide films with deposition parameters", 162, pp.119~127 (1988)
  8. J. L. Yao, "Indium Tin oxide films by sequential evaporation", 189(2), pp.227~233 (1990)
  9. Ha,Hong Ju, "The study on formation of ITO by DC reactive magnetron sputtering", 8(6), pp.669~707 (1995)
  10. M. Higuchi, "Post-deposition annealing influence on sputtered indium Tin oxide film characteristics", 33, pp.302~306 (1994)
  11. P. Sutta, "Microstructure of indium Tin oxide films deposited on glass substrates", pp.14~16 (2000)
  12. 김민수, "유기 EL 소자의 전기-광학적 특성", 6(4), pp.252~257 (1997)
  13. 박세광, "2층 구조 유기 박막 EL 소자의 전기-광학적 특성", 4(4), pp.10~15 (1995)

관련 논문AI추천

R.F Sputtering 법으로 증착한 ITO 박막의 미세구조와 전기.광학적 특성김규호, 이은수, 정영희, B.Munir,R.A.Wibowo한국표면공학회 · 한국표면공학회지2005 · 제38권 제4호RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 ITO박막의 열처리 특성 연구김동원, 문진욱한국표면공학회 · 한국표면공학회지2007 · 제40권 제3호RF magnetron sputter에 의한 PET기판상 ITO/Al/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향김동원, 김상호, 서정은, 이인선한국표면공학회 · 한국표면공학회지2005 · 제38권 제2호마그네트론 스퍼터링 증착률에 따른 SnO2 박막의 표면조도 및 전기광학적 특성김대일, 김지호, 허성보한국표면공학회 · 한국표면공학회지2025 · 제58권 제3호DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 IZO 박막의 제조와 특성 연구김동호, 김현범, 박창하, 이규환, 이학준한국표면공학회 · 한국표면공학회지2005 · 제38권 제5호제작 온도 및 산소 분압에 의존하는 인듐 주석 산화물의 전기적, 광학적 성질박장우, 주홍렬, 황석민한국광학회 · 한국광학회지2003 · 제14권 제3호

이 간행물의 다른 논문 (11건)

고감도 이미지 센서용 실리콘 나노와이어 MOSFET 광 검출기의 제작서상호, 박재현, 김훈, 도미영, 신영식, 신장규pp. 1-6수위, 온도, 전도도 측정을 위한 다기능 One-Chip 센서의 제조조용수, 최시영, 송낙천pp. 7-12다이아프램 구조를 이용한 탄소나노튜브 가스 센서의 가스 감응 특성조우성, 문승일, 주병권, 김영조, 박정호pp. 13-19신발금형의 가스 배출량 측정 장치와 영상정보를 이용한 가스벤트 자동 교환 시스템의 개발길경석, 홍준의, 최흥호, 권장우, 윤동업pp. 20-27혈액중 포도당과 젖산의 분석을 위한 광섬유 생물센서이종일, 손옥재pp. 28-33
원문 보기