Pd 및 CNT 첨가에 따른 SnO2 박막의 이산화질소 감지특성
NO2 gas sensing properties of SnO2 thin films dopped with Pd and CNT
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초록
이산화질소를 감지할 수 있는 센서물질로 Pd과 탄소 나노튜브(CNT)가 첨가된 SnO2 박막을 스핀코팅으로 제조하였으며, 동 시편의 이산화질소에 대한 감지 특성을 200oC 및 1 ppm~5 ppm의 NO2 농도 하에서 측정하였다. 센서시편의 전기저항은 NO2 기체의 노출과 농도에 따라 증가 하였으며, Pd이 3 wt%로 첨가된 시편의 감도는 26.5로 첨가전의 감도에 비하여 10배 증가하였다. 또한 SnO2 모체에 첨 가한 CNT의 량에 따라서도 감도는 증가 하였으며, 0.225 wt% CNT 첨가 시 5 ppm의 NO2 농도에서 감 도 값은 72이었다.
Abstract
The SnO2 thin films doped with Pd and CNT as NO2 gas sensor were prepared by spin coating and then the NO2 gas response of these films were evaluated under 1 ppm~5 ppm NO2 concentration and operating temperature of 200oC. It was found that the sensor resistance was increased with NO2 exposure and NO2 concentration. The 3 wt% Pd doped sample showed a sensitivity of 26.5 which was 10 times higher than that of pure SnO2. And also the sensitivity of CNT doped sample increased with CNT content and it had 72 when 0.225 wt% of CNT was added under 5ppm NO2 concentration.
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