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논문KCI 등재

고감도 에탄올 가스 센서

High sensitivity ethanol gas sensors

최동한
한국센서학회|2007.09|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제16권 제5호|pp. 355-360

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Abstract

Highly sensitive thick film ethanol gas sensors based on a nanocrystalline In2O3 were fabricated by painting methodon alumina substrates. The crystal structure of the In2O3 powder was characterised by XRD analysis. The microstructureof the films were characterised using FE-SEM. The experimental results of the ethanol gas sensing characteristics indicatedthat the undoped In2O3 oC for 2 hrs. wasas high as 32.73 at an operating temperature of 200oC to 1000 ppm ethanol gas in air.

참고문헌 (16)

  1. "“Polycrystalline wellshaped blocks of indium oxide obtained by the solgel method and their gas-sensing properties”", 15, pp.4377~4383 (2003)
  2. "“Detection of NO2 down to ppb levels using individual and multiple In2O3 nano wire devices”", 4, pp.1919~1924 (2004)
  3. "“Thin metallic oxides as transparent conductors”", pp.297~308 (1982)
  4. "“Thin-film gas sensors based on semiconducting metal oxides”", B23, pp.119~125 (1995)
  5. "“The influence of deposition parameters on room temperature ozone sensing properties of InOx films”", B80, pp.155~161 (2001)
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  13. "“Effects of crystal structures on gas sensing properties of nanocrysralline ITO thick films”", B89, pp.180~186 (2003)
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