논문KCI 등재
고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SiO₂절연박막의 구조분석 및 절연저항에 관한 연구
Insulation Properties and Microstructure of SiO₂Film Prepared by rf Magnetron Sputtering
0
조회
0
다운로드
0
인용
0
참고문헌
주제분류기계공학
관련 논문AI추천
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성권성열한국센서학회 · 센서학회지2006 · 제15권 제1호DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 IZO 박막의 제조와 특성 연구김동호, 김현범, 박창하, 이규환, 이학준한국표면공학회 · 한국표면공학회지2005 · 제38권 제5호유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링에 의한 MgO 박막의 특성연구김선호, 주정훈한국표면공학회 · 한국표면공학회지2004 · 제37권 제3호RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 ITO박막의 열처리 특성 연구김동원, 문진욱한국표면공학회 · 한국표면공학회지2007 · 제40권 제3호R.F Sputtering 법으로 증착한 ITO 박막의 미세구조와 전기.광학적 특성김규호, 이은수, 정영희, B.Munir,R.A.Wibowo한국표면공학회 · 한국표면공학회지2005 · 제38권 제4호RF-Magnetron 스퍼터링에 의한 AlxTa1-x 합금박막의 성장 및 구조적, 전기적 특성 분석송대권, 이종원, 정종한한국마이크로전자및패키징학회 · 마이크로전자 및 패키징학회지2003 · 제10권 제2호
이 간행물의 다른 논문 (5건)
음극표면 pH 측정에 의한 Ni-P 합금의 전착기구 고찰강성군, 권식철, 장도연, 이규환, 김동수, 이상열pp. 93-100NiCrAlY/ZrO₂-Y₂O₃ 복합코팅의 산화에 따른 조직관찰박진오, 박기범, 이동복pp. 101-106이온빔 스퍼터링 방법으로 증착한 NiFe/Ag 박막의 확산 거동이성래, 지재범, 문대원pp. 107-112PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착김상호, 김동원pp. 122-128A Study on the Comparison of Solderability AssessmentJ.P.Jung, B.Salam, N.N.Ekerepp. 129-137