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RF-Magnetron 스퍼터링에 의한 AlxTa1-x 합금박막의 성장 및 구조적, 전기적 특성 분석
Growth of AlxTa1-x Alloy Thin Films by RF-Magnetron Sputterand Evaluation of Structural and Electrical Properties
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주제분류재료공학
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