논문KCI 등재
다공질규소를 이용한 Mops 구조의 제작과 이의 에탄올 감지 특성
The sensing characteristics of MOPS structure based on porous silicon for ethanol gas
0
조회
0
다운로드
0
인용
0
참고문헌
주제분류공학일반
초록
Abstract
To use the porous silicon as gas sensors, we made the MOPS structure from the porous silicon with Al evaporation and investigated the sensing characteristic of ethanol. When the MOPS structure is in contact with ethanol gas, the maximum peak of PL changes and it return to original intensity without contact. The MOPS structure had response time 0.78s and recovery time 4.13s when it is in contact with ethanol, which satisfied the required sensor standards. Further complimentary researches, however, are required to investigate the contact mechanism between MOPS structure and ethanol and to solve the surface contamination problem.
참고문헌 (12)
- L. T. Canham, "Silicon quantum wire array fabrication by electrochemical and chemical dissolution of wafers", 57, pp.1046~1048 (1990)
- G. D'Arrigo, "Advanced micromachining processes formicro-opto-electromechanical components and devices", 99, pp.112~118 (2002)
- H. Fll, "Formation and application of porous silicon", 39, pp.93~141 (2002)
- C. Baratto, "Multiparametric porous silicon sensors", 2, pp.121~126 (2002)
- J. M. Lauerhaas, "Reversible luminescence quenching of porous silicon by solvents", 114, pp.1911~1912 (1992)
- K. Watanabe, "Organic vapor sensitivity in a porous silicon device", pp.890~ (1995)
- I. Ferreira, "Porous a.nc-Si H films produced by HW-CVD as ethanol vapour detector and primary fuel cell", 103, pp.344~349 (2004)
- W. J. Salcedo, "Photoluminescence quenching effect on porous silicon films for gas sensors application", 60, pp.1065~1070 (2004)
- T. Chvojka,V. Vrkoslav,I. Jelnek,J. Jindich,M. Lorenc, "Mechanism of photoluminescence sensor response of porous silicon for organic species in gas and liquid phases", 100, pp.246~249 (2004)
- L. T. Canham, "Properties of porous silicon", pp.364~370 (1997)
- 박대규, "다공질규소층과 규소 기판의 계면 영역에 대한 연구", 새물리, 45(5), pp.300~304 (2002), 한국물리학회
- 센서표준화위원회, "한국전자산업진흥회규격 EIAK GC-6220 가연성감지센서" (2000), 한국전자산업진흥회
관련 논문AI추천
후막형 에탄올 가스 감지소자의 제조 및 특성최동한한국센서학회 · 센서학회지2007 · 제16권 제6호고감도 에탄올 가스 센서최동한한국센서학회 · 센서학회지2007 · 제16권 제5호예비 처리 방법에 따른 박막 SnO2 센서의 가스 감응 특성김종원, 류기홍, 윤광현, 허증수한국센서학회 · 센서학회지2006 · 제15권 제5호표면 플라즈몬 공명에 의한 에탄올의 농도 및 굴절률 분석도용화, 손대원, 송석호, 이관수, 이상선한국광학회 · 한국광학회지2002 · 제13권 제1호ZnO를 기반으로한 에탄올 가스 센서최동한한국센서학회 · 센서학회지2013 · 제22권 제6호Rugate 구조를 갖는 자립형 다공성 실리콘 박막을 이용한 유기 증기, 압력차, 자기장의 동시 감응 특성이기원, 한성범한국센서학회 · 센서학회지2017 · 제26권 제3호
이 간행물의 다른 논문 (11건)
Photoluminescience properties for CdIn2Te4 single crystal grown by Bridgman method홍명석, 홍광준, 김장복pp. 379-385초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic contact 특성정귀상, 온창민pp. 386-390비고정화된 일차원 광결정의 DBR 다공성 실리콘을 이용한 센서와 Drug Delivery로의 응용조성동, 손홍래, 고영대, 김지훈, 김성기, 김동수, 박종선pp. 391-396Hot Wall Epitaxy(HWE)법에 의한 AgGaSe2 단결정 박막 성장과 가전자대 갈라짐에 대한 광전류 연구홍광준, 이관교pp. 397-405진공증착법으로 제조한 In2O3 나노벨트막의 NO 가스감지특성마대영, 최무희pp. 406-410