CFUBMS을 이용한 ZrCrAlN 나노복합 박막의 구조와 기계적 특성

이호영; 정우성; 신경식; 김연준; 한전건

논문KCI 등재

CFUBMS을 이용한 ZrCrAlN 나노복합 박막의 구조와 기계적 특성

Structure and Mechanical Characteristics of ZrCrAlN Nanocomposite Thin Films by CFUBMS

한국표면공학회 (The Korean Society of Surface Science and Engineering)|2005.10|한국표면공학회지 (Journal of Surface Science and Engineering)|제38권 제5호|pp. 183-187

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주제분류기계공학

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Abstract

The quaternary ZrCrAlN nanocomposite thin films are synthesized by Closed-Field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS). Microstructure and mechanical properties of ZrCrAlN nanocomposite thin films are studied. Grain refinement of ZrCrAlN nanocomposite thin film is occurred by controlling N2 partial pressure. Maximum hardness value according to the various N2 partial pressures is obtained at 45 GPa. It is also conformed that critical value of the grain size (d) needs to achieve the maximum hardness.

참고문헌 (4)

"Handbook of Nanostructured Materials and Nanoscience", 2, pp.155.~ (2000)
"The Value of Deposiion Processes for Industrial Tools Proceedings of the 1st Conference on materials Engineering Institution of Metallurgists", pp.175~ (1984)
"Phase Diagrams of Ternary Boron Nitride and Silicon Nitride Systems" (1992)
"Deformation and Fracture Mechanics of Engineering Materials" (1989)

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