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하이브리드 증착 시스템에 의해 합성된나노복합체 Ti-Al-Si-N 박막의 미세구조와 기계적 특성
Microstructural and Mechanical Characterization of Nanocomposite Ti-Al-Si-N Films Prepared by a Hybrid Deposition System
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주제분류기계공학
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