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논문KCI 등재

침강장-흐름분획법을 이용한 CMP 분말의 입자크기 분석

Particle Size Analysis of Chemical Mechanical Polishing (CMP) Powder Using Sedimentation Field-Flow Fractionation (SdFFF)

김선태|이승호|강동영|김솔
대한화학회|2013.02|대한화학회지 (Journal of the Korean Chemical Society)|제57권 제1호|pp. 159-164|DOI http://dx.doi.org/10.5012/jkcs.2013.57.1.159

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투과전자현미경Transmission Electron Microscopy (TEM)Size distributionCMP크기분포침강장-흐름분획법동적광산란Chemical Mechanical Polishing (CMP)Sedimentation field-flow fractionation (SdFFF)Dynamic Light Scattering (DLS)
주제분류화학

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