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Te를 이용한 상온 동작형 NO2 센서 제작 및 감응 특성
Room temperature operating nitrogen dioxide sensor based tellurium thin film
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주제분류공학일반
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Abstract
The characteristic of telurium thin films was studied for detecting nitrogen dioxide gas at room temperature. The filmwas deposited on Al2O3conditions. (temperature, flowed gases) Surface and grain boundary was investigated using SEM. The results showed thatresistance of the telurium film decreases reversibly in the presence of nitrogen dioxide. The sensitivity of this devicedepends on the gas concentration and detect lower concentrations less than 10 ppm.
참고문헌 (6)
- "“ZrO2가 첨가된 SnO2를 이용한 신경 및 수포작용제 검지에 대한 연구”", 13(5), pp.323~327 (2004)
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- "MoO3-based sputtered thin films for fast NOx detection, sensor”", 48, pp.285~288 (1998)
- "“High-temperature potentiometric", amperometric NOx sensors combining stabilised zircon with mixed-metal oxide electrode”, 1998., pp.52, 169~178
- "화학 작용제 검지용 박막형 마이크로 가스 센서" (2005)
- "“박막 Te를 이용한 NOX 가스센서의 제작 및 특성”", pp.67~68 (2004)
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