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유도결합형 플라즈마 반응성 이온식각 장치를 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 물리적, 전기적 특성
Physical and Electrical Characteristics of SrBi2Ta2O9 thin FilmsEtched with Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching System
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주제분류재료공학
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