DC 마그네트론 스퍼터로 증착한 flexible OLED용 IZO 박막의 기계적 특성과 투습특성에 미치는 반응성 가스 첨가의 효과
Effects of reactive gas addition on the mechanical property and water permeability of IZO films deposited by DC sputtering for application to flexible OLED
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초록
Flexible OLED용 투명전극 재료로서 비정질 IZO 박막을 기판의 가열없이 DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 PET기판 위에 증착하였다. 반응성가스를 첨가했을 때의 박막의 특성을 연구하기 위해, 박막증착 시 수소와 산소 가스를 각각 0.2%에서 0.4%로 첨가하였으며, 증착된 박막은 각각 기계적 특성과 투습특성 및 전기적 특성을 측정하였다. 수소가스를 첨가하였을 경우, IZO박막의 기계적 특성은 산소가스를 첨가하였을 경우와 비교하여 그 특성이 현저히 열화된 것을 확인할 수 있었다. 산소가스를 첨가하였을 경우, IZO박막의 투습율은 수소가스를 첨가하였을 경우와 비교하여 더 큰 값을 가지게 되었고, 이것은 고에너지 입자인 산소 음이온의 bombardment에 의한 접착력 저하로 인해 기인한 것으로 사료되어 진다. 그 결과, 박막의 투습율은 박막의 부착력에 의해 크게 영향을 받는 것으로 확인되어진다.
Abstract
Amorphous IZO films were deposited on PET substrate by DC magnetron sputtering without substrate heating. In order to investigate effect of reactive gas addition on film properties, 0.2 - 0.4% of H2 or O2 gas was introduced during the deposition. Deposited IZO films were evaluated with mechanical property, electrical property, and water permeability. In the case of H2 gas addition, mechanical property showed clear degradation compared to O2 gas. In the case of O2 gas, water permeability of the IZO film was increased compared to H2 gas which could be attributed to the low adhesion of the film caused by bombardment of high energy negative oxygen ion. As a result, it is confirmed that water permeability of the film could be strongly affected by adhesion of the film.
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