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논문KCI 등재

Fe-Hf-N 연자성 박막의 자기적 특성에 미치는 박막 두께의 영향

The Effect of Thicknesses on Magnetic Properties of Fe-Hf-N Soft Magnetic Thin Films

강계명|최종운
한국표면공학회 (The Korean Society of Surface Science and Engineering)|2011.12|한국표면공학회지 (Journal of Surface Science and Engineering)|제44권 제6호|pp. 255-259

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Fe-Hf-N thin filmRF magnetron sputtering methodSaturation magnetization
주제분류기계공학

초록

RF 마그네트론 스퍼터링으로 Fe-Hf-N 결정질 박막을 제조하여 자기적 특성에 따른 박막두께의 의존성을 평가하였다. 이를 위하여 박막의 두께를 90 nm 에서 330 nm 까지 제작하였다. 연자성박막의 두께 증가는 보자력의 증가로 나타났고, 자속밀도는 감소하는 것으로 조사되었다. SEM과 TEM 분석을 통해 초기성장단계에서의 비정질상 형성과 550℃의 열처리 시 결정구조 변화를 관찰하였다. 또한 Fe-Hf-N계 나노결정 결정립이 성장하였다.

Abstract

The thickness dependence of magnetic properties was experimentally investigated in nanocrystalline Fe-Hf-N thin films fabricated by a RF magnetron sputtering method. In order to investigate the thickness effect on their magnetic properties, the films are prepared with different thickness ranges from 90 nm to 330 nm. It was revealed that the coercivity of the thin film increased with film thickness. On the contrary, the saturation magnetization decreased with film thickness. On the basis of the SEM and TEM, an amorphous phase forms during initial growth stage and it changes to crystalline structure after heat treatment at 550℃. Nanocrystalline Fe-Hf-N particles are also generated.

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