고온에서 Pd 전극의 형태가 수소 센서의 감도에 미치는 영향
Effect on the Sensitivity of a Hydrogen Sensor by Pd Electrode Patterns at High Temperature
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초록
고온에서 이용 가능한 수소 센서에 관해 연구하였다. 센서는 Pd/Ta2O5/SiC으로 구성된 MOS 구조로 제작되었으며, Ta2O5 박막은 급속 열 산화법(RTO)법으로 형성하였다. 본 연구에서는 3가지 다른 패턴의 팔라듐(Pd) 전극으로 만든 센서를 제작하여, Pd 전극의 형태가 응답 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 그 결과, 센서는 Pd 전극의 채워진 면적이 클수록, 정전용량의 응답특성이 개선됨을 확인하였다.
Abstract
We investigated a hydrogen gas sensor which is available in a high temperature atmosphere. The hydrogen sensors were fabricated into a metal-oxide-semiconductor (MOS) structure made of Pd/Ta2O5/SiC, and the thin tantalum oxide (Ta2O5) layer was fabricated by rapid thermal oxidation (RTO). In the experiment, we made three types of sensors with different palladium (Pd) patterns to evaluate the effect of Pd electrode on response characteristics. As the result, the response characteristics in capacitance were improved further when the filled area of the Pd electrode became larger.
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