Fe2O3후막을 이용한 alcohol sensor 제작 및 감응특성
Fabrication and characteristics of alcohol sensor using Fe2O3
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참고문헌
초록
저비용과 휴대성을 고려한 알코올 경보기의 제작을 위해 동작온도가 낮고 감도가 높은 반도체 가스 센서를 제작하였다. Fe2O3에 금속 산화물인 MoO3, V2O5, TiO2, 그리고 CdO 등을 첨가하여 스크린 프린팅법을 이용하여 센서를 제작하였다. 센서의 전기적 안정성을 위하여 질소 분위기에서 700 ℃, 2시간 동안 열처리를 하였다. 알코올, 탄화수소계 가스와 담배연기 등을 사용하여 센서의 가스 감도를 조사하였다. V2O5를 첨가한 센서가 알코올 가스 1,000 ppm에 대해서 약 80 ∼ 90 %의 감도를 보이며, 타 가스에 대한 선택성도 가짐을 알 수 있었다. 제작된 센서와 PIC-chip을 사용하여 휴대 가능한 경보기를 제작할 수 있었다.
Abstract
In order to get low cost and portability, semiconductor gas sensor need to have low operating temperature and high sensitivity. Fe2O3 based sensors which were doped with metal oxide catalysts(MoO3, V2O5, TiO2, and CdO) were fabricated by screen printing method. To improve electrical stability of sensors, the Fe2O3 sensors were annealed in N2 at 700 ℃ for 2 hours. The V2O5 doped Fe2O3 sensor showed about 80 ∼ 90 % sensitivity at alcohol 1,000 ppm and have good selectivity to hydrocarbon gas and tobacco odors. The fabricated sensor and PIC-chip were employed for portable alarm system.