반사형 타원계를 이용한 러빙된 Polyimide 배향막의 초미세 광학 이방성 정밀 측정
Precise Measurement of the Ultrasmall Optical Anisotropy of Rubbed Polyimide Using an Improved Reflection Ellipsometer
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초록
기층의 잔류 이방성에 영향을 받지 않고 러빙된 폴리이미드 배향막의 초미세 광학 이방성을 정밀하게 측정할 수 있는 반사형타원계를 개발하고 러빙의 세기를 달리하여 제작한 배향막의 광학이방성을 이 반사형 타원계를 사용하여 측정, 분석하였다. 투과형 타원계를 사용하여 측정한 리타데이션과 비교하여 개발된 반사형 타원계의 신뢰도 및 광학 이방성의 측정 재현성을 확인하고 배향막의 형성 여부와 배향막의 형성정도를 정량적으로 평가하였다.
Abstract
We developed a reflection ellipsometer so that one can measure the extremely small optical anisotropy of a rubbed polyimidealignment layer, without being disturbed by the residual anisotropy of the substrate. The optical anisotropy of the alignment layerwas measured as rubbing strength was increased, and the measured anisotropy was compared to the retardation obtained by usinga transmission-type ellipsometer, to confirm the reliability of our reflection ellipsometer. With this measured anisotropy we couldverify the formation of an alignment layer by rubbing, and could quantitatively evaluate the formation of the alignment layer.
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