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주사팀침현미경을 이용한 Si 표면 국부 산화피막 형성시 선높이에 대한 탐침 전위,편향셋포인트, 탐침 속도의 영향
Local Anodic on Si surface Using Scanning Probe Microscope; Effects of Tip Voltage, deflection Setpoint and Tip Velocity on Line Height
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주제분류화학
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