논문KCI 등재
SPM을 이용한 Si 표면위에 플라즈마 처리된 소수성 박막의 나노 트라이볼로지적 특성 연구
Nanotribological Characteristics of PlasmaTreated hydrophobic Thin Films on Silicon Surfaces using SPM
한국트라이볼로지학회 (Korean Tribology Society)|2003.04|한국트라이볼로지학회지 (Tribology and Lubricants)|제19권 제2호|pp. 109-115
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주제분류기계공학
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