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고정밀 및 긴 측정범위를 위한 전기용량형 변위 센서

A new capacitive displacement sensor for high accuracy and long range

문원규|김무진
한국센서학회|2005.07|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제14권 제4호|pp. 219-224

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Abstract

In this paper, a contact-type linear encoder-like capacitive displacement sensor (CLECDS) is proposed. It is based on the linear encoder capacitive displacement sensor that consists of two substrates with a series of conducting grating in identical size and it is used as a contact sensor of which the two substrates assembled faced to each other after coated with thin dielectric film. It was confirmed that the prototype of this sensor has resolution of about 126nm and measuring range of 20 mm in the test.

참고문헌 (10)

  1. "물리센서 : 변위측정용 LVDT의 개선에 관한 연구", pp.1~8 (1996)
  2. "세묘노프"물리센서 : 미소변위 측정용 비접촉식 4 - 전극형 전기용량 센서", pp.90~6 (1998)
  3. "Nano positioning catalog" (1998)
  4. "Capacitive sensor for micropositioning in two dimensions", (1), pp.1998~
  5. "Capacitive sensors:design and application" (1997)
  6. "Capacitive transducer for accurate displacement control", im-30(2), pp.114~123 (1981)
  7. "A simple capacitive displacement Sensor", pp.25~27265269 (1991)
  8. "A long-range capacitive displacement sensor having micrometre resolution", pp.801~807 (1993)
  9. "Perspectives on MEMS in bioengineering", pp.8~11 (2000)
  10. "Field and wave electromagnetics", pp. 121-124 (1989)

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