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논문KCI 등재

연성회로기판에 실장된 실리콘 기반의 유연촉각센서 어레이 제작 및 평가

Development of silicon based flexible tactile sensorarray mounted on flexible PCB

김용국|조남규|박정호|이대성|김수원|주병권|이강열|조우성|김원효|김건년
한국센서학회|2006.07|센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)|제15권 제4호|pp. 277-283

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Abstract

We presented that fabrication process and characteristics of 3 axes flexible tactile sensor available for normal and shear force fabricated using Si micromachining and packaging technologies. The fabrication processes for 3 axes flexible tactile sensor were classified in the fabrication of sensor chips and their packaging on the flexible PCB. The variation rate of resistance was about 2.1%/N and 0.5%/N in applying normal and shear force, respectively. The flexibility of fabricated 3 axes flexible tactile sensor array was good enough to place on the finger-tip.

참고문헌 (6)

  1. "A silicon-based tactile sensor for finger-mounted applications", 45(2), pp.151~159 (1998)
  2. "Tactile sensing for mechatronics-a state of the art survey", 9, pp.1~33 (1999)
  3. "A silicon-based shear force sensor", 84, pp.33~44 (2000)
  4. "An integrated MEMS three-dimensional tactile sensor with large force range", 80, pp.155~162 (2000)
  5. "Characterization of a silicon-based shear-force sensor on human subjects", 49, pp.1340~1347 (2002)
  6. "New tactile sensor chip with silicone rubber cover", 84, pp.236~245 (2000)

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