4점굽힘시험법을 이용한 함몰전극형 Si 태양전지의 무전해 Ni-P 전극 계면 접착력 평가
Interfacial Adhesion Energy of Ni-P Electroless-plating Contact for Buried Contact Silicon Solar Cell using 4-point Bending Test System
2
조회
0
다운로드
3
인용
0
참고문헌
키워드
초록
고효율, 저가격의 태양전지를 위해 습식공정 중 하나인 Ni-P 무전해 도금을 이용한 실리콘 태양전지 웨이퍼를 열처리에 따른 4점굽힘시험을 통해 정량적인 계면 접착에너지를 평가하였다. 실험 결과 실리콘 태양전지 웨이퍼와 Ni-P 박막 사이의 계면접착에너지는 14.83±0.76 J/m2이며, 후속 열처리에 따른 실리콘 태양전지 웨이퍼와 Ni-P 무전해 도금은 300oC 처리 시 12.33±1.16 J/m2, 600oC 처리 시 10.83±0.42 J/m2로써 전반적으로 높은 계면접착에너지를 가지나 열처리 온도가 증가할수록 계면접착에너지가 서서히 감소하였다. 4점굽힘시험 후 박리된 파면의 미세구조를 관찰 및 분석하여 내부의 파괴경로를 확인하였으며, X-선 광전자 분광법을 통하여 표면화학 결합상태를 분석한 결과 열처리 시 Ni-O와Si-O 형태의 결합이 존재하여 약한 계면을 형성하기 때문인 것으로 판단된다.
Abstract
In order to develop electroless-plated Nickel Phosphate (Ni-P) as a contact material for high efficient lowcost silicon solar cells, we evaluated the effect of ambient thermal annealing on the degradation behavior of interfacial adhesion energy between electroless-plated Ni-P and silicon solar cell wafers by applying 4-point bending test method. Measured interfacial adhesion energies decreased from 14.83 to 10.83 J/m2 after annealing at 300 and 600oC, respectively. The X-ray photoelectron spectroscopy analysis suggested that the bonding interface was degraded by environmental residual oxygen, in which the oxidation inhibit the stable formation of Ni silicide phase between electroless-plated Ni-P and silicon interface.
참고문헌 (16)
- I. S. Moon, "New Method for Patterning front and Rear Contacts of High-Rfficiency Solar Cells with Mechanical Scriber", 17th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (PVSEC) Munich (2001)
- M. A. Green, "Silicon Solar Cells : Advanced Principles Practice", pp.117~ (1995), Centre for Photovoltaic Devices and Systems, University of New South Wales
- E. J. Lee, "Ni", Cu Metallization for Low-Cost High-Efciency PERC Cells, 2002, pp.74, 65~
- F. d'Heurle, "Formation of Thin Films of NiSi - Metastable Structure, Diffusion Mechanisms in Intermetallic Compounds", Journal of Applied Physics, 55, pp.4208~ (1984)
- E. G. Colgan, "Electrical Characteristics of Thin Ni2Si, NiSi, and NiSi2 Layers grown on Silicon", Journal of Electronic Materials, 12, pp.413~ (1983)
- Y. Hu, "Spectroscopic Ellipsometry Investigation of Nickel Silicide Formation by Rapid Thermal Process", Journal of Vacuum Science and Technology A, 16, pp.1820~ (1998)
- 이재두, "선택도핑을 적용한 Ni", Cu 전면 전극 실리콘 태양전지에 관한 연구, 2011, pp.49(11), 905~909[DOI]
- S. R. Kim, "Measurement of Adhesion", Journal of Adhesion and Interface, 4, pp.21~ (2003)
- R. H. Dauskardt, "Adhesion and Debonding of Multi-Layer Thin Film Structures", Engineering Fracture Mechanics, 61, pp.141~ (1998)
- 김재원, "4-point bending test system을 이용한 Cu-Cu 열 압착 접합 특성 평가", 마이크로전자 및 패키징학회지, 18(4), pp.11~18 (2011), 한국마이크로전자및패키징학회
- Eun-Jung Jang, "Annealing Temperature Effect on the Cu-Cu Bonding Energy for 3D-IC Integration", Metals and Materials International, 17(1), pp.105~109 (2011), 대한금속·재료학회
- J. W. Kim, "The Effect of Plasma Pre-Cleaning on the Cu-Cu Direct Bonding for 3D Chip Stacking", proc. 18th IEEE International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA) (2011), IEEE Reliability[DOI]
- R. Shaviv, "Optimizing the Precision of the Four-Point Bend Test for the Measurement of Thin Film Adhesion", Microelectronic Engineering, 82, pp.99~ (2005)
- K. N. Chen, "Morphology and Bond Strength of Copper Wafer Bonding", Electrochemical and Solid-State Letters, 7(1), pp.14~ (2004)
- 민경진, "고온다습처리 조건이 무전해 니켈 도금 박막과 폴리이미드 사이의 계면 접착력에 미치는 영향", 대한금속·재료학회지, 47(10), pp.675~680 (2009), 대한금속·재료학회
- C. D. Wagner, "Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy", pp.56~84 (1978), Perkin-Elmer
