동적인 전기장이 다마신 구리 배선에서의 절연파괴에 미치는 영향
Effect of Dynamic Electric Fields on Dielectric Reliability in Cu Damascene Interconnects
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초록
다마신 구리 배선에서의 동적인 전기장에 따른 절연체 파괴거동을 연구하였다. DC, 단극성, 및 이극성 펄스조건 중에서 절연체의 수명은 이극성 펄스 조건에서 가장 길었다. DC 및 단극성 펄스 조건에서는 절연체에 가해지는 전기장의 방향이 바뀌지 않지만 이극성 펄스 조건에서는 전기장의 방향이 반복적으로 180도 바뀌기 때문에, 이극성 펄스조건에서는 절연체의 구리오염이 억제되고, 이로 인해서 절연체 수명이 이극성 펄스 조건에서 가장 긴 것으로 판단된다. 단극성 펄스 조건에서 펄스 주파수가 커질수록 DC 조건보다 절연체의 수명이 증가하였다. 이는 절연체 수명에 구리오염뿐만 아니라 내재적인 절연파괴현상이 상당한 영향을 미치며, 절연체 분자결합파괴가 일어날 확률은 펄스 폭이 좁아질수록 감소한다고 판단된다.
Abstract
Effect of dynamic electric fields on dielectric breakdown behavior in Cu damascene interconnects wasinvestigated. Among the DC, unipolar, and bipolar pulse conditions, the longest dielectric lifetime is observed under thebipolar condition because backward Cu ion drift occurs when the direction of electric field is changed by 180 degreesand Cu contamination is prohibited as a results. Under the unipolar pulse condition, the dielectric lifetime increases aspulse frequency increases and it exceed the lifetime under DC condition. It suggests that the intrinsic breakdown ofdielectrics significantly affect the dielectric breakdown in addition to Cu contamination. As the unipolar pulse widthdecreases, dielectric bond breakdown is more difficult to occur.
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