전기도금법으로 제조한 Ni-Fe 나노박막의 스트레스와 자기적 특성에 미치는 용액의 조건 및 전류밀도의 영향
Effect of Bath Conditions and Current Density on Stress and Magnetic Properties of Ni-Fe Nano Thin Films Synthesized by Electrodeposition Methods
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초록
전기도금법(Electrodeposition Method)에 의한 Ni-Fe 나노 박막을 용액의 조성과 온도 그리고 전류밀도를 달리하여 제조하여 박막의 증착 특성과 내부응력과 자기적 특성(보자력, 각형비)을 측정하였다. Ni-Fe 박막에서의 Fe의 증착 양상은 용액의 온도에 따라 달라 나타났고, 박막의 스트레스는 용액온도가 높을수록 작았고 Fe 증착량에 따라 포물선 형태를 나타내었다. 박막의 입자크기와 스트레스는 반비례하는 경향을 보였다. 한편, 박막의 보자력과 각형비는 Fe 증착량이 10~20 at.% 근처에서 최소가 됨을 알 수 있었는데 이때 스트레스가 큰 것으로 보아 자기적 특성과 스트레스 그리고 입자의 크기는 관련성이 있음을 알 수 있었다.
Abstract
The internal stress and magnetic properties (coercivity and squareness) of Ni-Fe nano thin film synthesized by electrodeposition method were studied as a function of acidic chloride bath conditions(composition and temperature) and current density. Fe deposition patterns were different depending on the temperature of the solution, the stress of film decreased with increasing the solution temperature, and the depending on the amount of Fe deposition showed a parabolic shape. The grain size of film was inversely proportional to stress of thin film. The internal stress of thin film and magnetic properties were deeply relevant, and the stress of thin film had a relationship with bath conditions and grain size of the thin film surface.
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