반사형 마이크로 미러를 이용한 광마이크로폰
Optical Microphone Based on a Reflective Micromirror Diaphragm
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참고문헌
초록
본 논문에서는 마이크로 미러 진동판을 이용한 광마이크로폰을 제안하고 구현하였다. 이 미러 진동판은 실리콘 바(bar)에 의해 프레임에 연결되어 있어서 인가된 음압에 따라 전후로 움직이게 되어 있으며, 작고 간단한 구조의 광 헤드는 한 개의 다중모드 광섬유로 되어 있다. 본 논문에서는 광헤드와 진동판 사이의 거리를 변화시켜 가면서 응답특성을 측정하여 선형성과 민감도가 최대인 지점을 동작점으로 결정하였다. 그리고 음성신호의 주파수를 변화시켜 가면서 구현된 소자의 출력을 측정하였다. 측정된 광마이크로폰의 주파수 대역폭은 약 ~2dB 출력 변화 이내에서 약 2 kHz였다.
Abstract
An optical microphone incorporating a reflective diaphragm and a fiber-optic head was demonstrated. The diaphragm was made of a micromirror membrane which is suspended by a silicon bar connected to a frame, allowing for a displacement induced by acoustic waves. A compact, simple optical head was implemented by exploiting a single multimode fiber. For the assembled microphone, the static characteristics were investigated to find the operation point defined as the optimum distance between the head and the diaphragm, and a flat frequency response with a variation of ~2dB for the range of up to 2 kHz was accomplished.
참고문헌 (7)
- "Optical microphone transduction techniques", 50(1), pp.35~63 (1997)
- "Recent advances in optical microphone technology" (2003)
- "A two- dimensional optical fibre microphone array with matrix- style data readout", 12, pp.859~864 (2001)
- "Optical microphone based on a modulated diffractive lens", 15, pp.1431~1433 (2004)
- "Extrinsic Fabry-Perot interferometer fiber-optic microphone", 47(1), pp.138~142 (1998)
- "A low-voltage three-axis electromagnetically actuated micromirror with bulk silicon mirror plates and torsion bars" (2002)
- "Fundamentals of Photonics. New York pp. 80-107.Optical Microphone Based on a Reflective Micromirror DiaphragmJu-Han Song" (1991)