1.3 ㎛ 파장 Al2O3/a-Si 박막 에탈론과 광학 상수 측정
1.3 ㎛ Waveband Al2O3/a-Si Thin-Film Etalon and Measurements of Optical Constants
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참고문헌
초록
전자선 증착기를 이용하여 1.3 ㎛ 중심 파장의 파브리-페로 에탈론을 Al2O3와 a-Si 박막 쌍으로 증착하였다. 제작된 에탈론의 투과율 및 반사율 스펙트럼을 측정하여, 공진 파장에서 투과 반치폭이 ∼12.1 nm이며 피네세(finesse) 값은 53임을 알았다. Al2O3 단일 박막의 광학 상수는 타원분광기법으로 측정하였다. Al2O3와 a-Si 박막 에탈론의 측정을 통하여 a-Si 박막의 굴절률은 각각 실수부 3.120, 허수부 0.002로 측정하였다. 이러한 박막 쌍은 1.3 ㎛ 파장 표면방출레이저의 출력 반사경으로 사용 가능하다.
Abstract
We have fabricated a Fabry-Perot etalon around 1.3 ㎛ wavelength utilizing Al2O3 and a-Si thin films. A full width at half maximum of ∼12.1 nm and a finesse value of 53 were found from the measured resonant transmission spectra. Single thin film of Al2O3 was analyzed by spectroscopic ellipsometry. A refractive index of a-Si thin film was measured as 3.120 in the real part and 0.002 in the imaginary part, respectively. The thin-film pairs of Al2O3 and a-Si are applicable to output mirrors of vertical-cavity surface-emitting lasers at 1.3 ㎛ waveband.
참고문헌 (5)
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