웨이퍼 검사용 DUV NA 0.8 현미경 대물렌즈의 경통 설계
Mechanical Design of Optical Barrel for DUV NA 0.8 Microscope Objective Lens for Wafer Inspection
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초록
본 논문은 반도체 웨이퍼의 검사 장비로 사용되는 초 고분해 현미경 대물렌즈의 초정밀 조립을 위한 경통 설계 연구이다. 초정밀 조립의 핵심은 총 두 가지로, 첫번째는 부품 제작 오차를 극복하기 위해 제작된 부품을 측정하여 설계를 보정함으로써 적정 간격을 유지하는 것이고, 두번 째는 광축을 일치시키기 위하여 각 부품의 편심을 측정하고 경사 편심, 평행 편심을 이용해 편심을 제거하는 것이다. 본 논문에서는 이 두 가지 작업을 편리하게 수행할 수 있도록 경통을 설계하였다.
Abstract
This paper is a study on the mechanical design of a barrel for the ultra-precision assembly of an ultra-high resolution microscope objective lens used in inspection equipment for semiconductor wafers. The key to ultra-precision assembly is to overcome the manufacturing errors of lens components and to align the optical axes of all lenses to a single axis. To overcome part manufacturing errors, measuring the manufactured parts to correct the design and maintain the spacing is required, and to align the optical axes, measuring the eccentricity of each component and eliminating eccentricity with tilt and de-centering is required. In this paper, lens barrel design was carried out to conveniently perform these two tasks successfully.