대형 비구면의 초정밀 가공을 위한 자동무수차점 방식의 널 렌즈 설계 및 측정 정밀도의 한계에 관한 연구
A study for null lens design of autostigmatic type and the limitation of measurement accuracy for ultra precision manufacturing of large aspherical surface
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참고문헌
초록
대형 비구면의 측정을 위하여 자동무수차점 방식의 2매 구성 널 렌즈를 설계하였고, 제작과 정렬 오차에 따른 측정 정밀도의 한계 를 이론적으로 분석해 보았다. 측정 정밀도의 한계를 결정짓는 주요한 공차 요소는 널 렌즈면의 불규칙도(irregularity)임을 확인하였 으며, 불규칙도의 가공 정도에 따라 5λ/100 ~ 4λ/1000 정도까지의 신뢰할 수 있는 측정 정밀도가 한정지어졌다. 이로써 실제의 정렬 오차 및 널 렌즈 제작오차까지 고려하여 신뢰할 수 있는 정밀도 한계를 제시할 수 있었다.
Abstract
A null lens system of autostigmatic type, consisting of two mirrors, is designed for testing a large aspherical mirror. The system is theoretically analyzed to determine the limitation of measurement accuracy according to the manufacturing and alignment errors. We confirmed that irregularity of the null lens surface is the principal factor among tolerances in limiting measurement accuracy. Consequently, we can predict that measurement accuracy will be from 5λ/100 to 4λ/1000 according to the amount of this irregularity. That is, we can present the limitation of possible measurement accuracy with actual alignment and manufacturing errors
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