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직경 3인치의 AlN 단결정 성장에 관한 연구
A study on the growth of 3 inch grade AlN crystal
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주제분류재료공학
초록
자외선 LED용 기판소재로 응용가능한 AlN(질화알루미늄) 단결정을 물리기상이동법(Physical Vapor TransportMethod)으로 성장하기 위해 성장 거동을 조사하였다. 다결정의 종자결정을 사용하였으며, 직경은 3인치급이었고, 120시간동안 성장공정을 수행하여 길이 약 4 mm의 다결정상을 얻었다. 본 연구에서는 성장 조건과 대형의 도가니를 사용하였을경우의 성장 거동에 대하여 고찰하여 보고자 하였다.
Abstract
AlN (Aluminum Nitride) crystal which could be used to substrates for UV LEDs was grown by PVT ((PhysicalVapor Transport) method. 3 inch AlN single crystal with a thickenss of 4 mm was grown using Polycrystalline seed for120 hours. In this report, a result of 3 inch polycrystalline bulk AlN growth behavior using large size crucible and growthcondition were reported.
참고문헌 (6)
- B.T. Tran, "Performance improvement of AlN crystal quality grown on patterned Si(111) substrate for deep UV-LED applications", Sci. Rep, 6, pp.35681~ (2016)
- Yu. N. Makarov, "3'' 6H SiC wafers production for III-N epitaxy", Proc. 7th Conf. Nitrides of Gallium, pp.23~ (2010), Indium and Aluminum
- S.M. Kang, "The study on the formation of growth steps in the sublimation growth of SiC single crystals", J. Korean Cryst. Growth Cryst. Technol, 11, pp.1~ (2001)
- 강승민, "Growth of AlN crystals by the sublimation process", 한국결정성장학회지, 18(2), pp.68~71 (2008), 한국결정성장학회
- 인경필, "PVT법에 의한 AlN 단결정 성장에서 Hot-Zone 의존성", 한국결정성장학회지, 26(2), pp.84~88 (2016), 한국결정성장학회[DOI]
- 인경필, "SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구", 한국결정성장학회지, 28(4), pp.170~174 (2018), 한국결정성장학회[DOI]
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