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PVT(Physical Vapor Transport) 법으로 AlN 결정 성장에서 결정립의 성장 거동에 관한 연구
A study on the crystallite growth behavior in AlN crystal grown by PVT (Physical Vapor Transport) method
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주제분류재료공학
초록
AlN 결정을 PVT(물리 기상 이동법, Physical Vapor Transport) 법으로 성장함에 있어 결정립의 성장 거동을 관찰하였다. 작은 AlN 결정립이 성장한 이후 결정립들은 이웃한 결정립과 합쳐지면서 성장하는 거동을 보였다. 이를 실체현미경을 이용하여 관찰한 결과를 보고하고자 한다.
Abstract
It was observed that the single grain of crystallite growth behavior in AlN (Aluminum Nitride) single crystal growth by PVT (Physical Vapor Transport) method. The single grain of AlN was grown in sequent experiments and adjacent crystallites were joined together after small grain was grown. The sequential results of those grains observed by stereoscopic microscope were reported.
참고문헌 (5)
- 강승민, "Growth of AlN crystals by the sublimation process", 한국결정성장학회지, 18(2), pp.68~71 (2008), 한국결정성장학회
- 강승민, "무종자결정 상에 성장된 AlN 결정의 형태학적 연구", 한국결정성장학회지, 22(6), pp.265~268 (2012), 한국결정성장학회[DOI]
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