2 단계 양극 산화를 이용한 ZrO2 나노 다공성 산화막의 제조와 특성에 관한 연구
Fabrication and Characterization Nano Porous Anodic ZrO2 Membranes by Two-Step Anodizing
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초록
전해연마를 한 지르코늄(Zr)을 가지고 F− 이온이 함유된 무기 전해질과 유기 전해질에서 2 단계 양극산화를 진행하여산화 지르코늄(ZrO2) 나노 다공성 산화막을 제조하였다. 2 단계 양극산화를 진행하면서 무기 전해질에서보다 유기 전해질에서만들어진 지르코늄 산화막이 보다 균일한 나노 다공성 산화막을 가지게 되었다. 나노 다공성 산화막의 크기와 구조는 FE-SEM (field emission scanning electron microscopy), XRD(X-ray diffraction), EDS(energy dispersive spectroscopy)를 이용하여 특성을분석하였고 형광스펙트럼을 측정하여 ZrO2 나노 다공성 산화막의 형광성을 알아보았다.
Abstract
Zirconium oxide (ZrO2) nano porous membranes were fabricated by electrochemical two-step anodization with an electropolished zirconium substrate in inorganic water-based and organic electrolyte systems containing small amounts of fluoride. Using two-step anodization and organic electrolytes, highly regular and ordered nanotubular ZrO2 oxide layers can be compared with aqueous electrolytes. The morphology and size of the nano porous layers were characterized by FE-SEM (field emission scanning electron microscopy), XRD (X-ray diffraction), and EDS (energy dispersive spectroscopy). Luminescence properties were investigated by photoluminescence measurements.
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