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다이아몬드 막 특성 향상을 위한 CH4-H2-O2 플라즈마 내의 CH4 기체 유량의 시간 의존 싸이클릭 변조 프로세스
Time-Dependent Cyclic Modulation Process of CH4 Gas Flow Rate in CH4-H2-O2 Plasma for the Enhancement of Diamond Film Characteristics
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주제분류화학
참고문헌 (4)
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- Park, B.S, "Diamond Relat.Mater", 6, pp.1716~ (1997)
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