주사전자현미경에서 가속전압의 안정성 연구
A Study on the Stability of the Accelerating Voltages in Scanning Electron Microscopy
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참고문헌
초록
주사전자현미경(SEM)에서 전자를 발생시키는 전자총 부분의 고압발생 장치를 설계 제작하고 그 안정성을 시험하였다. 고전압을 발생시키는 switching 주파수는 고압 트랜스의 1차 측 임피던스와 인덕턴스에 matching 되는 주파수에서 최적의 전압 안정도가 유지되었다. 1차 측의 고압트랜스의 turn 수가 적으면 인덕턴스가 낮으므로 최적적인 matched switching 주파수가 높은 쪽으로 올라간다. 최대 출력 전압은 -30 kV 이상 출력되었으나 안정도는 출력전압이 -5 kV에서 10 kV 범위에서 가장 좋게 나타났다. 23.8 kHz에서 출력파형의 흔들림 없었고 DC 고전압 출력 또한 최고의 안정도을 보였다. 이때 도출된 전압 안정도는 ±0.002 %였다.
Abstract
The high acceleration voltage system used in scanning electron microscope were designed and manufactured to test its stability. The Cockcroft-Walton circuits are used both in the cathode voltage up to-30 kV and in the Wehnelt cylinder of -2 kV. The operating voltage of 6V was applied to the heating of the filament. The wave forms which are formed in the second leg of the high voltage transformer were observed in the oscilloscope with 2V of DC input. When the high voltages were in the range between 5kV and 12kV, the highest value of the stabilities of the generated voltages was obtained as 0.002%.
참고문헌 (4)
- "Power electronic systems theory and design", pp.471~484 (2001)
- "Switchmode power supply handbook", pp.64~107 (1999), McGraw- Hill
- "Scanning electron microscopy and X-ray analysis", pp.21~67 (1992), Plenum Press
- "Handbook of charged particle optics", pp.363~402 (1997), CRC press