주사전자현미경 특성의 통계적 해석
Statistical Analysis of Characteristics of Scanning Electron Microscope
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참고문헌
초록
나노과학과 공학의 성장으로 미세 패턴과 입자거 동을 고찰하기 위해 보다 정교한 측정장치가 요구 되어지고 있다. 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope-SEM)은 반도체 소자제조과정에서 증착 또는 식각된 표면의 미세 기하학적인 형상을 영상 으로 제공하는 측정기기이다. SEM은 다 수의 부품 으로 이루어진 매우 복잡하고 정교한 기기이며, 전 자를 방출하는 전자건(Electron Gun), 전자빔을 1차 적으로 초점화하는 Condenser Lens 1(CL1), CL1을 지난 전자빔의 직경을 줄이는 역할을 수행하는 Condenser Lens 2(CL2), 고도의 해상도를 결정하는 Objective Lens(OL), 이외의 Anode Allignment Coil, Scanning Deflection Coil, Detector 등으로 구 성된다. SEM의 분해능을 3.5 nm 이하로 줄이기 위 해 전자방출원 팁에 고전압(15~30 kV)을 인가하여 고휘도의 작은 에너지 분산을 내는 전자방사형 전 자빔 설계에 많은 연구가 진행이 되고 있다1-3).
Abstract
Abstract A scanning electron microscope (SEM) is a complex system, consisting of many sophisticated components. For a systematic characterization, a 24 full factorial experiment was conducted. The SEM components examined include condenser lens 1 and 2 (denoted as A and B, respectively), and Objective lens (coarse and finedenoted as C and D respectively). A statistical analysis was conduced to investigate factor effects and variations in response surfaces. Among four factors, main effect analysis revealed that A and D were identified as the dominant factor. Moreover, B showed conflicting effect against C. The R2 of statistical regression model constructed was about 69.6%. The model generated 3D response surface plots facilitated understanding of complex factor effects.
참고문헌 (2)
- "Scanning Electron Microscopy - Physics of Image Formation and Microanalysis" (1998), Springer,Berlin
- "Design and Anlaysis of Experiments" (1992)