폐실리콘 슬러지의 再活用 技術에 관한 特許動向 分析
Analysis of Patents on the Recycling Technologies for the Waste Silicon Sludge
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초록
반도체 산업에서는 다양한 형태의 반도체 소자를 제조하기 위하여 실리콘 웨이퍼가 사용되고 있다. 실리콘 웨이퍼는 실리콘 잉곳의 절단으로부터 만들어지며 이 공정에서 실리콘 슬러지가 발생한다. 반도체 소자의 사용처가 점점 증가함에 따라 실리콘 슬러지의 발생량 또한 증가하고 있는 실정이다. 최근 경제적 측면과 효율성 측면에서 폐실리콘 슬러지의 재활용 기술이 폭넓게 연구되고 있다. 본 연구에서는 폐실리콘 슬러지의 재활용에 관한 특허 기술을 분석하였다. 분석범위는 2007년 9월까지 미국, 유럽연합, 일본과 한국에서 출원 및 공개된 특허로 제한하였다. 특허들은 전체적으로 검색어를 사용하여 수집되었고, 기준 기술 이외의 것을 여과하였다. 특허기술의 경향은 년도와 국가별, 기업 및 관련기술 분야별로 분석되었다.
Abstract
Silicon wafer is used in making semiconductor device of various forms in the semiconductor industry. Silicon wafer is produced by cutting silicon ingot and sludge containing silicon results from cutting process. The amount of silicon sludge is increasing owing to the usage of semiconductor device in many industry sectors. These days the recycling technologies of the waste silicon sludge has been widely studied from view point of economy and efficiency. In this study, patents on the recycling technologies of the waste silicon sludge were analyzed. The range of search was limited in the open patents of USA, European Union, Japan, and Korea up to september, 2007. Patents were collected using key-words and filtered by filtering criteria. The trend of the patents was analyzed by the years, countries, companies, and technologies.
참고문헌 (9)
- 이수영, "반도체 산업 폐Si슬러지의 재활용 기술 현황", 한국기계연구원 기계와 재료, 36, pp.6~15 (1998)
- 孫龍雲, "廢 半導體 슬러리 및 廢 망간전지 흑연봉으로부터 炭化硅素 合成", 자원리싸이클링, 12(3), pp.25~30 (2003), 한국자원리싸이클링학회
- 서용재, "폐실리콘 슬러지로부터 실리카 나노분말 제조", 한국지구시스템공학회지, 41(6), pp.458~465 (2004), 한국지구시스템공학회
- Rajat Kanti Paul, "연속다공질 SiC-Si3N4 복합체의 미세구조 및 기계적 특성", 한국재료학회지, 16(3), pp.188~192 (2006), 한국재료학회
- R. K. Paul, "Effect of addition of silicon on the microstructures and bending strength of continuous porous SiC-Si3N4 composites", J. Am. Ceram. Soc, 89(6), pp.2057~2062 (2006)
- H. D. Jang, "Synthesis of SiO2 nanoparticles from sprayed droplets of TEOS by the flame spray pyrolysis", Current Applied Physics, 6S1, pp.110~113 (2006)
- 장희동, "廢실리콘슬러지로부터 TMOS 및 실리카 나노粉末 製造", 자원리싸이클링, 16(5), pp.41~45 (2007), 한국자원리싸이클링학회
- J. Shibata, "Treatment of silicon wafer slicing wastes", The 4th Korea-Japan International Symposium on Material Sciences and Resources Recycling, pp.21~30 (2007)
- 길대섭, "페실리콘 슬러지 로부터 실리콘 분말의 분리 회수", KIGAM Bulletin, 12(1), pp.57~62 (2008)