特許와 論文으로 본 실리콘 슬러지의 再活用 技術 動向
Trend on the Recycling Technologies for Silicon Sludge by the Patent and Paper Analysis
0
조회
0
다운로드
2
인용
0
참고문헌
키워드
초록
반도체 및 태양광 산업에서는 반도체 소자 및 솔라셀을 제조하기 위하여 실리콘 웨이퍼가 사용되고 있다. 실리콘 웨이퍼는 실리콘 잉곳의 절단으로부터 만들어지며 이 공정에서 실리콘 슬러지가 발생한다. 반도체 소자의 사용처가 점점 증가함에 따라 실리콘슬러지의 발생량 또한 증가하고 있는 실정이다. 최근 경제적인 측면과 효율성에 관한 측면에서 실리콘 슬러지의 재활용 기술이 폭넓게 연구되고 있다. 본 연구에서는 실리콘 슬러지의 재활용 기술에 대한 특허와 논문을 분석하였다. 분석범위는 1982년~2011년까지의 미국, EU, 일본, 한국의 등록/공개된 특허와 SCI 논문으로 제한하였다. 특허와 논문은 키워드를 사용하여 수집하였고, 기술의정의에 의해 필터링하였다. 특허와 논문의 동향은 연도, 국가, 기업, 기술에 따라 분석하여 나타내었다.
Abstract
Silicon wafer for making semiconductor devices and solar cell is used in the semiconductor and solar industry, respectively. Silicon wafer is produced by cutting with silicon ingot and sludge contains silicon occurs from cutting process. Generation of silicon sludge is increasing on developing all industry sectors which have need of semiconductor device. These days it has been widely studied for the recycling technologies of the silicon sludge from view points of economy and efficiency. In this paper,patents and paper on the recycling technologies of the silicon sludge were analyzed. The range of search was limited in the open patents of USA (US), European Union (EU), Japan (JP), Korea (KR) and SCI journals from 1982 to 2011. Patents and journals were collected using key-words searching and filtered by filtering criteria. The trends of the patents and journals was analyzed by the years, countries, companies, and technologies.
참고문헌 (10)
- 이수영, "반도체 산업 폐Si슬러지의 재활용기술 현황", 한국기계연구원 기계와 재료, 36, pp.6~15 (1998)
- 길대섭, "폐실리콘 슬러지의 再活用 技術에 관한 特許動向 分析", 자원리싸이클링, 17(4), pp.66~76 (2008), 한국자원리싸이클링학회
- 서용재, "폐실리콘 슬러지로부터 실리카 나노분말 제조", 한국자원공학회지, 41(6), pp.1~8 (2004), 한국자원공학회
- Rajat Kanti Paul, "연속다공질 SiC-Si3N4 복합체의 미세구조 및 기계적 특성", 한국재료학회지, 16(3), pp.188~192 (2006), 한국재료학회
- 장희동, "廢실리콘슬러지로부터 TMOS 및 실리카 나노粉末 製造", 자원리싸이클링, 16(5), pp.41~45 (2007), 한국자원리싸이클링학회
- 이병택, "Effect of addition of silicon on the microstructures and bending strength of continuous porous SiC-Si3N4 composites", JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY, 89(6), pp.2057~2062, BLACKWELL PUBLISHING
- Chang H., "Flame synthesis of silica nanoparticles by adopting two-fluid nozzle spray, Colloids and Surfaces A", Physicochem. Eng. Aspects, 313, pp.140~144 (2008)
- 이병택, "Fabrication of platinum coating on continuous porous SiC-Si3N4 composites by the electroless deposition process", JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY, 209, pp.2958~2962, ELSEVIER
- Wang T. Y., "A novel approach for recycling of kerf loss silicon from cutting slurry waste for solar cell applications", Journal of Crystal Growth, 310, pp.3403~3406 (2008)
- Zhang L., "Recycling of solar cell silicon scraps through filtration, Part I: Experimental investigation", Solar Energy Materials and Solar Cells, 92, pp.1450~1461 (2008)