R.F. 마그네트론 스퍼터링을 이용한 LiCoO2 양극활물질의 Ar 증착분압에 따른 박막전지 전극 특성
Electrode Properties of Thin Film Battery with LiCoO2 Cathode Deposited by R.F. Magnetron Sputtering at Various Ar Partial Pressures
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참고문헌
초록
Ar 공정 분압에 따라 스퍼터링된 LiCoO2 박막 양극의 400℃ 저온 열처리를 통한 전기화학적 및 미세구조적 특성을 연구하였다. Ar 분압이 변화함에 따라 양극 박막의 미세구조 및 조성이 변화하였으며, Ar 분압이 증가할수록 LiCoO2 박막의 안정성 및 전기화학적 특성이 개선되었다. 순환전류전위법 및 정전류 충방전 시험에 의해 전극반응의 가역성 및 안정성 등을 고찰하였으며, 박막의 조성, 결정성, 표면 특성 등 물리적 특성은 ICP-AES, XRD, SEM 및 AFM을 통해 분석하였다.
Abstract
We investigated the electrochemical properties and microstructure on the various argon deposition pressure (PAr) and the low annealing temperature(400℃) of LiCoO2 cathodes, which deposited by R.F. magnetron sputtering. The microstructure and composition of LiCoO2 thin film was changed as a function of PAr. The capacity and electrochemical properties were improved with PAr of LiCoO2 thin films. The cycling reversibility and stability of thin film batteries were measured by Cyclic voltammetry and the constant current charge-discharge. The physical properties of cathode films were analyzed using ICP-AES, XRD, SEM and AFM, for composition, crystallization and surface morphology.
참고문헌 (2)
- N.J. Dudney, "Encyclopedea of Materials", pp.~32 (2001), Elsevier Science Ltd.
- Milton Ohring, "The Materials Science of Thin Films", p204 (1992), Academic Press Inc.