가열용융 방법에 의한 Ge-BPSG 마이크로렌즈 어레이 제작
Ge-doped Boro-phospho-silicate Glass Micro-lens Array Produced by Thermal Reflow
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참고문헌
초록
화염가수분해 증착법(FHD : Flame Hydrolysis Deposition)으로 제작된 Ge이 첨가된 BPSG(Boro-Phospho-Silicate-Glass)막의 표면을 절단톱(dicing saw)을 이용하여 일정한 깊이로 절단함으로써 각 단위 마이크로렌즈 셀들을 형성시켰다. 또한 절단된 각 단위 마이크로렌즈 셀들을 가열용융(thermal reflow) 방법을 이용하여 1200℃에서 가열용융시킴으로써 직경이 53.4 ㎛인 마이크로렌즈 어레이를 제작할 수 있었다. 이 때 렌즈간 간격은 70 ㎛, 렌즈 두께는 약 28.4 ㎛이었다. 제작된 마이크로렌즈 어레이의 형상을 이미지-프로세스로 분석하였으며, 초점거리는 62.2 ㎛이었다. 본 제작방법은 일반적인 사진식각 공정을 이용한 마이크로렌즈 제작보다 간단하면서도 저렴한 비용으로 제작이 가능하다. 또한 곡률반경의 조절이 용이하고, 보다 정밀하며 다양한 마이크로렌즈 어레이를 구현할 수 있다.
Abstract
Microlens cells of Ge-doped BPSG (Boro-Phospho-Silicate Glass) are fabricated by dicing the film produced by FHD (Flame Hydrolysis Deposition). Microlens arrays of 53.4 ㎛ square unit are produced by the thermal reflow of the diced unit cells at 1200℃. The gap between the microlenses was about 70 ㎛ and the thickness of the produced lens was about 28.4 ㎛. We analyzed the reflowed shape of the microlens cell by an image-process technique, and the focal length was about 62.2 ㎛. This method of fabricating a microlens is simple and inexpensive compared to the conventional method using the photolithographic process. Also, the control of the radius of curvature of the microlens is easier and a more precise microlens array of various types can be fabricated using this method.
참고문헌 (4)
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