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Photoresist Thermal Reflow를 이용한 Microlens Array 제작
Fabrication of Microlens Array Using Photoresist Thermal Reflow
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주제분류물리학
초록
PET 필름 위에 LCD 백라이트의 프리즘 집광시트의 역할을 대체 할 수 있는 microlens array(MLA) 시트를 설계하고 제작하였다. Photoresist thermal reflow 공정으로 두께 100 μm PET 필름 위에 MLA를 제작하였고, 노광 시간과 reflow의 온도, 시간 등의 변수에 따른 MLA의 형상 변화를 측정하였다.
Abstract
An optical sheet with microlens array (MLA) is designed and fabricated as a substitute for the prism sheets of LCD backlight. Using photoresist thermal reflow, MLAs were fabricated on PET film with thickness of 100 μm, and we measured the change of MLA profile in terms of exposure time, reflow temperature and reflow time.
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