펨토초 레이저를 이용한 PLC 가변광감쇠기 특성 향상을 위한 열간섭 차단 트렌치 가공 기술
Femtosecond-Laser Micromachining of a Thermal Blocking Trench for an Enhanced PLC Variable Optical Attenuator
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초록
본 논문에서는 다채널 가변광감쇠기에서 발생하는 열간섭 효과를 차단하여 광효율을 높이기 위하여 펨토초 레이저를 이용하여트렌치를 가공하였다. 채널간 열간섭으로 인한 광감쇠 제어효율 하락을 막기 위하여, 가변광감쇠기 채널 사이에 펨토초 레이저로트렌치의 폭과 깊이를 다르게 하여 가공하였고, 적용된 각 칩을 모듈화하여 전류에 따른 광감쇠율 변화를 관찰하였다. 그 결과광감쇠를 위해 가해진 열이 주변채널에 영향을 매우 작게 미치는 것을 확인하였고, 뿐만 아니라 작은 전류에 광감쇠율이 민감하게 변화하는 것을 확인할 수 있어 효율적인 소자로서 개발 가능함을 확인하였다.
Abstract
In this paper, a trench structure was fabricated by femtosecond-laser machining to eliminate thermal crosstalk in a multichannelvariable optical attenuator (VOA), to prevent decreasing attenuation efficiency of the VOA. Trenches of a variety of widths anddepths were fabricated on the VOA chips by femtosecond-laser processing. After the machining, attenuation according to currentchange was observed in each VOA chip module with trenches. As a result, we could observe high responsivity of attenuationand low power consumption, and that the heat of each channel barely influenced other channels.
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