인쇄회로기판용 Au 패드의 산란 특성 측정 및 분석에 의한 산란 인자 추출
Measurement and Analysis of Light Scattering of Au Pads on PCB Surface to Extract Scattering Parameters
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초록
본 논문에서는 인쇄회로기판에 있는 Au 패드의 표면 조도와 산란 현상의 상관 관계를 연구하였다. 여러 가지 Au 패드에 대해 입사 각을 달리하여 산란 각도 별 산란 분포를 측정하였으며, 표면 조도와 정반사 성분의 관련성을 이용하여 정반사 성분과 난반사 성분을 분리하였다. 최종적으로 분리된 난반사 성분을 physics based model에 곡선 맞춤을 수행하여 주요 산란 인자들을 추출하였으며 측정 된 산란 인자와 비교를 통해 모델의 정확성을 확인하였다.
Abstract
In this study, the influence of surface roughness on light scattering from Au pads on a PCB surface was investigated. Angular distributions of light scattered from Au pads with different surface roughness were measured for several incident angles. Diffusely-scattered light could be separated by using the fact that the amount of specularly-scattered light was directly related to surface roughness. The separated diffuse term was curve-fitted with a physics-based model, and then the related scattering parameters were extracted and compared with measured parameters.
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