티탄산바륨 분말과 박막의 제조 및 특성 연구
Preparation and Characterization of BaTiO3 Powders and Thin films
1
조회
0
다운로드
1
인용
0
참고문헌
초록
Ethylene glycol의 polymerization-complex route를 통한 졸-겔 합성법으로 안정하고 균일한 barium titanate 분말 및 박막을 제조하였다. 출발 용액으로 킬레이팅 리간드인 acetylacetone을 barium과 titanium 용액에 치환시켜 합성한 복합 산화물 졸 용액을 사용했을 때 박막을 만들 수 있었다. 졸 용액의 입자 분포도는 안정한 gaussian 분포를 보였으며, 1100 에서 열처리한 겔 분말의 입자 크기는 40∼77 nm이었다. 열분석 및 FT-IR, 13C CP/MAS NMR 스펙트라와 XRD 결과로부터 (Ba-Ti)-oxycarbonate 중간상을 거쳐 BaTiO3 분말이 형성됨을 알 수 있었다.Quartz에 스핀 코팅으로 제조한 박막은 치밀하고 균열 없는 미세 조직을 보였다. 1100 에서 열처리한 박막 표면의 입자 크기는 220 nm였으며 치밀한 입자 성장을 관찰할 수 있었다.
Abstract
The BaTiO3 powders and thin films were prepared by an alkoxide modified sol-gel process (polymerization-complex route) using ethylene glycol. The stable starting (Ba-Ti)-mixed metal organic sol was made by addition of acetylacetone. The BaTiO3 powders, which had a particle size of 40∼77 nm, were crystallized from an amorphous to a tetragonal phase on annealing at 700 and 1100 for 1 h. From FT-IR, solid-state 13C CP/MAS NMR spectroscopy and X-ray diffractometry, the trace of the Ba-Ti-oxycarbonate phase first appeared at 400 .Hydrolyzed sol was spin coated on a quartz wafer at 3500 rpm for 60 s and pyrolyzed at 1100 for 1 h. After heat treatment, the coated layer became dense and smooth.
참고문헌 (15)
- Kumar, S, "J. Am. Ceram. Soc.", 76, pp.617~624 (1993)
- Klein, L. C, "Sol-Gel Optics: Processing and Applications", pp.147~158 (1994), Kluwer Academic Pub. London
- Frye, G. C, "Mat. Res. Soc.", 180, pp.583~593 (1990)
- Lee, B, "Thin solid Films", 388, pp.107~113 (2003)
- Pechini, M. P, "U.S. Pat.", 330, pp.697~ (1967)
- Arima, M, "J. Am. Ceram. Soc,", 79, pp.2847~ (1996)
- Kakihana, M, "Chem. Mater.", 11, pp.438~450 (1999)
- Lee, S. J, "J. Materr. Res.", 14, pp.3001~3006 (1999)
- Duran, P, "J. Mater. Chem", 11, pp.1828~1836 (2001)
- Stockmayer, W. H, "J. Chem. Phys.", 11, pp.45~55 (1943)
- Henry, M, "J. Non-Cryst. Solids", 89, pp.206~217 (1987)
- Gerardin, C, "J. Sol-Gel Sci. and Tech", pp.101~114 (1995)
- Yi, G, "Ceram. Bull", 70, pp.1173~1179 (1991)
- Kajinara, K. C, "Sol-Gel Sci. and Tech", 16, pp.257~266 (1999)
- Jung, M. W, "Kor. Ceram. Soc.", 39, pp.252~258 (2002)