폐실리콘 슬러지로부터 실리카 나노분말 제조
Synthesis of Silica Nanoparticles from a Waste Silicon Sludge
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초록
본 연구에서는 폐실리콘 슬러지로부터 3단계의 주요과정을 거쳐 실리카 나노분말을 제조하였다. 먼저 실리콘 슬러지를 구성하고 있는 성분들의 밀도 차이 등을 이용하여 슬러지로부터 실리콘 분말을 분리하였다. 그 후, 분리된 분말을 알콕사이드와 촉매 반응시켜 순도 96% 이상의 사에톡시실란(TEOS)을 합성하였다. 마지막으로 TEOS를 화염속으로 분무하여 열분해 반응시킴으로써 평균 기본입자 크기가 15~78nm인 비정형 실리카 나노분말을 제조하였다.
Abstract
Silica (SiO2) nanoparticles from a waste silicon sludge were synthesized by taking three steps: first, silicon powder was separated from the silicon sludge using difference in density of the entities made up of the sludge. Then silicon compound of tetraethylorthosilicate (TEOS) with purity higher than 96% was prepared from this powder by catalytic reaction. Finally, the silicon compound was oxidized using a spray flame reactor to synthesize amorphous silica nanoparticles with average primary particle diameter of 15 to 78 nm.
참고문헌 (10)
- "실리콘 잉고트 절단슬러지로부터 실리콘 알콕사이드 합성에 관한 연구", pp.98~102 (2004)
- "실리콘 잉고트 절단슬러지로부터 실리콘 및 실리콘 카바이드 분리 회수", pp.186~190 (2004)
- "폐 반도체 슬러지 및 폐 망간전지 흑연봉으로부터 탄화규소 합성", 12(3), pp.25~31 (2003)
- "반도체 산업 폐 Si 슬러지를 이용한 Si3N4계 세라믹 소재개발 현황", pp.219~240, 한국지질자원연구원
- "Generation of Silica Nanoparticles from TEOS Vapor in a Diffusion Flame", 30, pp.477~488 (1999)
- "Morphological Control of Zircornia Nanoparticles through Combustion Aerosol Synthesis", 85, pp.1127~1132 (2002)
- "Controlled Synthesis of Nanostructured Particles by Flame Spray Pyrolysis", 33, pp.369~389 (2002)
- "Synthesis and Reactions of Metal Alkoxides", 100, pp.1~15 (1988)
- "Production of Ultrafine Metal Oxide Aerosol Particles by Thermal Decomposition of Metal Alkoxide Vapors", 32, pp.2010~2019 (1986)
- "Gas Phase Synthesis of Fine Silica Particles by Oxidation of Tetraethylorthosilicate Vapour", 14, pp.387~389 (1995)