거친 표면 형상측정을 위한 점광원 절대간섭계의 오차해석과 시스템 변수의 보정
Multiple-Point-Diffraction Interferometer: Error Analysis and Calibration
0
조회
0
다운로드
2
인용
0
참고문헌
초록
표면거칠기가 큰 가공면의 표면형상을 비접촉 고속 측정 하기 위해 고안된 점광원 절대간섭계는 점광원의 위치가 시스템 변수로 정의된다. 시스템 오차인 점광원의 위치 오차가 측정 결과에 미치는 영향을 분석하며, 이를 보정하기 위해 CCD 카메라를 이용한 보정법을 제안한다. 제안된 방법을 검증하기 위해 기준면을 측정하여 측정 정밀도의 향상을 확인하며, 이를 거친 표면형상의 특징을 가진 칩모듈 측정에 적용하였다. 측정 결과 기존의 촉침식 측정기와 50 mm x 50 mm의 영역에서 9.8 ㎛의 측정 차이를 보임을 확인하였다.
Abstract
An absolute interferometer system with multiple point-sources is devised for the 3-D measurement of rough surface profiles. The positions of the point sources are determined to be the system parameters that influence the measurement accuracy, so they are calibrated precisely prior to performing actual measurements. For the calibration, a CCD camera composed of a two- dimensional array of photo-detectors was used. Performing optimization of the cost function constructed with phase values measured at each pixel on the CCD camera, the position coordinates of each point source is precisely determined. Measurement results after calibration performed for the warpage inspection of chip scale packages (CSPs) demonstrate that the maximum discrepancy is 9.8 mm with a standard deviation of 1.5 mm in comparison with the test results obtained by using a Form Taly Surf instrument.
참고문헌 (8)
- "“Rough surface interferometry at 10.6㎛", 19(11)
- "Far-infrared fizeau interferometry", 40(28), pp.4981~ (2001)
- "“Grating interferometer for flatness testing", 21(3), pp.228~ (1996)
- "“Absolute interferometer for three- dimensional profile measurement of rough surfaces", 28(7), pp.528~ (2003)
- "“The first measurement of a three-dimensional coordinate by use of a laser tracking interferometer system based on trilateration", 9(1), pp.38~ (1998)
- "Diffraction methods raise interferometer accuracy", 32(8), pp.6~ (1996)
- "“Absolute distance measurement by two point diffraction interferometry", 41(28), pp.5921~ (2002)
- "“A specialized genetic algorithm for numerical optimization problems", pp.798~ (1990)